home > Á¦Ç°¼Ò°³ > Keithley(Á¦Ç°»ó¼¼º¸±â)
ÆĶó¸ÞÆ®¸¯ ºÐ¼® Á¤º¸¸¦ ºü¸£°í ¼±¸íÇÏ°Ô Á¦°ø
È®½ÇÇÑ ºÐ¼® ±â´ÉÀ» ¹ßÀü½ÃÅ°´Â °ÍÀº °áÄÚ ½¬¿î ÀÏÀÌ ¾Æ´Õ´Ï´Ù. 4200A-SCS ÆĶó¹ÌÅÍ ºÐ¼®±â´Â ¼³Á¤ºÎÅÍ Æ¯¼ºÈ Å×½ºÆ® ½ÇÇà ´Ü°è±îÁö ¼Ò¿äµÇ´Â ½Ã°£À» ÃÖ´ë 50%±îÁö ´ÜÃàÇØ Å¹¿ùÇÑ ÃøÁ¤ ¹× ºÐ¼® ±â´ÉÀ» Á¦°øÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ÀÓº£µðµå ÃøÁ¤ Àü¹® Áö½ÄÀ» ÅëÇØ ÃÖ»óÀÇ Å×½ºÆ® ÁöħÀ» Á¦°øÇÏ°í °á°ú·Î µµÃâµÈ ÃøÁ¤°ª¿¡ ´ëÇØ ÃÖ°íÀÇ ½Å·Úµµ¸¦ ºÎ¿©ÇÕ´Ï´Ù.
ÁÖ¿ä Ư¡
DC I-V, C-V ¹× ÆÞ½ºÇü I-V ÃøÁ¤ À¯Çü¿¡ »ç¿ëµÇ´Â °í±Þ ÃøÁ¤ Çϵå¿þ¾î
Clarius ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î¿¡ Æ÷ÇÔµÈ »ç¿ëÀÚ ¼öÁ¤ °¡´ÉÇÑ ¼ö¹é °¡ÁöÀÇ ¾ÖÇø®ÄÉÀÌ¼Ç Å×½ºÆ®¸¦ ÅëÇØ Áï½Ã Å×½ºÆ® ½ÃÀÛ
ÀÚµ¿ÈµÈ ½Ç½Ã°£ ÆĶó¹ÌÅÍ ÃßÃâ, µ¥ÀÌÅÍ ÀÛ¼º ¹× ºÐ¼® ±â´É
Á¤È®ÇÑ C-V Ư¼ºÈ
KeithleyÀÇ ÃֽŠĿÆнÃÅϽº-Àü¾Ð ÀåÄ¡(CVU), 4215-CVU·Î ÇÑ ÀÚ¸´¼ö ÆèÅäÆзµÀ» ÃøÁ¤ ÇϽʽÿÀ. ¾÷°è¸¦ ¼±µµÇÏ´Â KeithleyÀÇ CVU ¾ÆÅ°ÅØó¿¡ 1V ACÀÇ ¼Ò½º¸¦ ÅëÇÕÇϸé 4215-CVU¿¡¼ 1kHz ~ 10MHzÀÇ ÁÖÆļö¿¡¼ ³·Àº ³ëÀÌÁîÀÇ Ä¿ÆнÃÅϽº ÃøÁ¤°ªÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.
ÁÖ¿äƯ¡
1V ACÀÇ ¼Ò½º Àü¾ÐÀ» ±¸µ¿ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â µ¿±Þ ÃÖÃÊÀÇ C-V ¹ÌÅÍ
1kHzÀÇ ÁÖÆļö ºÐÇØ´É(¹üÀ§: 1 kHz ~ 10MHz)
Ä¿ÆнÃÅϽº, Àüµµµµ ¹× ¾îµå¹ÌÅϽº ÃøÁ¤
4200A-CVIV ¸ÖƼ½ºÀ§Ä¡·Î ÃÖ´ë ³× °³ÀÇ Ã¤³Î ÃøÁ¤
ÃøÁ¤. Àüȯ. ¹Ýº¹
4200A-CVIV ¸ÖƼ ½ºÀ§Ä¡´Â ÇÁ·Î¹ö ÆÁÀ» ´Ù½Ã ÄÉÀÌºí¸µÇϰųª µé¾î ¿Ã¸®Áö ¾Ê°í I-V ¹× C-V ÃøÁ¤À» ÀÚµ¿À¸·Î ÀüȯÇÕ´Ï´Ù. °æÀï¾÷ü Á¦Ç°°ú ´Þ¸® 4ä³Î 4200A-CVIV µð½ºÇ÷¹ÀÌ´Â ¿¹»óÄ¡ ¸øÇÑ °á°ú°¡ ¹ß»ýÇÒ °æ¿ì ½Å¼ÓÇÑ Å×½ºÆ® ¼³Á¤ ¹× ¼Õ½¬¿î ¹®Á¦ ÇØ°áÀ» À§ÇØ ±¹ºÎÀûÀÎ ½Ã°¢Àû ÅëÂû·ÂÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.
ÁÖ¿ä Ư¡
´Ù½Ã ÄÉÀÌºí¸µÇÏÁö ¾Ê°í C-V ÃøÁ¤À» ¸ðµç ÀåÄ¡ ´ÜÀÚ·Î ¿Å±è
ÀúÀü·ù °ø±Þ ´É·ÂÀ» À§ÇØ »ç¿ëÀÚ ±¸¼º °¡´É
Ãâ·Â ä³Î À̸§ °³ÀÎÈ
½Ç½Ã°£À¸·Î Å×½ºÆ® »óÅ º¸±â
I-V Ư¼ºÈ¸¦ À§ÇÑ ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ ÀúÀü·ù ÃøÁ¤
4201-SMU ¹× 4211-SMU ¸ðµâÀ» »ç¿ëÇÏ¸é °íÄ¿ÆнÃÅϽº ½Ã½ºÅÛ¿¡¼ ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ ÀúÀü·ù ÃøÁ¤À» ´Þ¼ºÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ¼±Åà °¡´ÉÇÑ ³× °¡Áö ¸ðµ¨ÀÇ SMU(source measure unit)¸¦ ÅëÇØ ¸ðµç I-V ÃøÁ¤ ¿ä±¸ »çÇ׿¡ ¸ÂÃß¾î 4200A-SCS¸¦ »ç¿ëÀÚ Á¤ÀÇÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. Keithley´Â ÇöÀå ¼³Ä¡ °¡´ÉÇÑ ÀåÄ¡¿Í ¼±ÅÃÀûÀÎ ÇÁ¸®¾ÚÇÁ ¸ðµâÀ» Á¦°øÇÔÀ¸·Î½á ´Ù¿îŸÀÓÀÌ °ÅÀÇ ¾øÀÌ °¡Àå Á¤È®ÇÑ ÀúÀü·ù ÃøÁ¤À» ¼öÇàÇϵµ·Ï ÇØÁÝ´Ï´Ù.
ÁÖ¿ä Ư¡
Àåºñ¸¦ °øÀå¿¡ µÇµ¹·Á º¸³»Áö ¾Ê°í SMU Ãß°¡
ÆèÅä¾ÏÆä¾î ÃøÁ¤Çϱâ
ÃÖ´ë 9°³ SMU ä³Î
±ä ÄÉÀÌºí ¶Ç´Â Å« ô¿¡ ÃÖÀûÈ
ºÐ¼® ÇÁ·Î¹ö ¹× ±ØÀú¿Â ÄÁÆ®·Ñ·¯¿Í ÅëÇÕµÈ
4200A-SCS ÆĶó¹ÌÅÍ ºÐ¼®±â´Â MPI Cascade MicroTech, Lucas Labs/Signatone, MicroManipulator, Wentworth Laboratories, LakeShore Model 336 ±ØÀú¿Â ÄÁÆ®·Ñ·¯¸¦ ºñ·ÔÇÏ¿© ¸¹Àº ¼öµ¿/¹ÝÀÚµ¿ ¿þÀÌÆÛ ÇÁ·Î¹ö ¹× ±ØÀú¿Â ÄÁÆ®·Ñ·¯¸¦ Áö¿øÇÕ´Ï´Ù.
ÁÖ¿ä Ư¡
"ÁöÁ¤ ¹× Ŭ¸¯" Å×½ºÆ® ½ÃÄö½Ì
"¼öµ¿" ÇÁ·Î¹ö ¸ðµå¿¡¼ ÇÁ·Î¹ö ±â´É Å×½ºÆ®
°¡Â¥ ÇÁ·Î¹ö ¸ðµå¸¦ ÅëÇØ ¸í·ÉÀ» Á¦°ÅÇÏÁö ¾Ê°í µð¹ö±ë ¼öÇà °¡´É
ºñ¿ë Àý°¨ ¹× ÅõÀÚ º¸È£
Keithley Äɾî Ç÷£Àº ¿äû ½Ã ¼ºñ½º À̺¥Æ® ºñ¿ëÀÇ ÀϺθ¸À¸·Î ½Å¼ÓÇÑ °íÇ°Áú ¼ºñ½º¸¦ Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. Ŭ¸¯ ÇÑ ¹øÀ̳ª ÀüÈ ÇÑ ÅëÈ·Î ¼ö¸® º¸ÁõÀ» È®º¸ÇÏ¿© °ßÀû¼³ª ±¸¸Å ÁÖ¹®¼°¡ ÇÊ¿äÇÏÁö ¾Ê°í ½ÂÀÎÀÌ Áö¿¬µÇÁöµµ ¾Ê½À´Ï´Ù
¸ðµ¨ |
¼³¸í |
4200A-SCS-PKA |
4200A-SCS: ÆĶó¹ÌÅÍ ºÐ¼®±â ¸ÞÀÎÇÁ·¹ÀÓ |
°íÇØ»óµµ IV |
4201-SMU: °íijÆнÃÅϽº ¼³Á¤À» À§ÇÑ Áß°£ Àü·Â SMU 2°³ |
¡¡ |
4200-PA: ÇÁ¸®¾ÚÇÁ 1°³ |
¡¡ |
8101-PIV: »ùÇà ÀåÄ¡°¡ Æ÷ÇÔµÈ Å×½ºÆ® ÇȽºÃÄ 1°³ |
4200A-SCS-PKB |
4200A-SCS: ÆĶó¹ÌÅÍ ºÐ¼®±â ¸ÞÀÎÇÁ·¹ÀÓ |
°íÇØ»óµµ IV ¹× CV |
4201-SMU: °íijÆнÃÅϽº ¼³Á¤À» À§ÇÑ Áß°£ Àü·Â SMU 2°³ |
¡¡ |
4200-PA: ÇÁ¸®¾ÚÇÁ 1°³ |
¡¡ |
4215-CVU: °íÇØ»óµµ ´ÙÁß ÁÖÆļö C-V ÀåÄ¡ |
¡¡ |
8101-PIV: »ùÇà ÀåÄ¡°¡ Æ÷ÇÔµÈ Å×½ºÆ® ÇȽºÃÄ 1°³ |
4200A-SCS-PKC |
4200A-SCS: ÆĶó¹ÌÅÍ ºÐ¼®±â ¸ÞÀÎÇÁ·¹ÀÓ |
°íÀü·Â IV ¹× CV |
4201-SMU: °íijÆнÃÅϽº ¼³Á¤À» À§ÇÑ Áß°£ Àü·Â SMU 2°³ |
¡¡ |
4211-SMU: °íijÆнÃÅϽº ¼³Á¤À» À§ÇÑ °íÀü·Â SMU 2°³ |
¡¡ |
4200-PA: ÇÁ¸®¾ÚÇÁ 2°³ |
¡¡ |
4215-CVU: °íÇØ»óµµ ´ÙÁß ÁÖÆļö C-V ÀåÄ¡ 1°³ |
¡¡ |
8101-PIV: »ùÇà ÀåÄ¡°¡ Æ÷ÇÔµÈ Å×½ºÆ® ÇȽºÃÄ 1°³ |
4200-BTI-A |
4200-BTI-A´Â ÃÖ÷´Ü ½Ç¸®ÄÜ CMOS ±â¼úÀÇ º¹ÀâÇÑ NBTI ¹× PBTI ÃøÁ¤¿¡ ÃÖÀûÈµÈ ÆÐÅ°Áö·Î ´ÙÀ½ÀÌ Æ÷ÇԵ˴ϴÙ. |
ÃÊ°í¼Ó NBTI/PBTI |
(1) 4225-PMU ÃÊ°í¼Ó I-V ¸ðµâ |
¡¡ |
(2) 4225-RPM ¿ø°Ý ÇÁ¸®¾ÚÇÁ/½ºÀ§Ä¡ ¸ðµâ |
¡¡ |
ACS (Automated Characterization Suite) ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î |
¡¡ |
ÃÊ°í¼Ó BTI Å×½ºÆ® ÇÁ·ÎÁ§Æ® ¸ðµâ |
¡¡ |
ÄÉÀ̺í |